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| EG2001 |
| 晶元尺寸容量 |
| 75mm、100mm、125mm、150mm (3 inch、4 inch、 5 inch、6 inch). |
| 精度 |
0.25mil(64μm 含 X&Y.
0,0 参考点在首个晶元的中心模具处被教导。 |
测试机接口包装 |
所有主要 ATE 厂家。 |
连网工作与测试机的沟通 |
| ‧
标准接口 |
硬件 -RS232C, TTL( 平行 I/O).
GPIB(IEEE-488).
EG 协议加强版 ( 推介的 ). |
| ‧
选购的界面 |
| 以太网络(TCP/IP 或 DECNET). |
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| EG 4090u |
| EG4090
晶元处理 |
自动晶元尺寸调整100mm", 150mm, 200mm(4", 5", 6",8")。
1卡匣25或26槽
‧顺序
‧透过外部I/O可程序存取可控制性
辅助晶元盘
快速单晶元插植及抽取
交叉槽晶元侦测智能型快速加载管线流死循环材料取卸 |
精确度 |
+_ um(包括X,Y, ψ 及 Z的系统精确度)**
**可索取定义 |
| XY定位 |
行程-19.80"(503mm) X,9.42 (239mm)Y
最大速度-10.0 in/sec(254.0mm/sec)
最大加速度:
‧标准组态-1.1G X 轴, 0.53GY 轴
‧高力量组态-0.88G X轴, 0.42G Y 轴
分辨率-0.01 mils(0.25um)
可重复性-0.01 mils(0.25um) |
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| EG4080 |
Electroglas EG4080 晶元探测机，用于 4", 5", 6", 8", 晶元结合强大自动化系统软件 独特的线性马达原料处理系统可提供精确的动作。 |
| 晶元尺寸容量 |
用于4", 5", 6", 8"晶元的自动晶元尺寸调整。 |
| 精度 |
落在0.2 mil(5um)以内。 在Electrogals 精度测试中，于10,8"晶元上放置所有模具都落在5um 理想的精度内 。0,0参考点在首个晶元的中心模具处被教导。 |
测试机接口包裹 |
所有主要ATE 厂家。机动化探测器卡或半自动探测器卡更换在某些测试机应用软件上可行。 |
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